广东工业大学阎秋生教授:面向光电晶片超光滑平坦化加工的集群磁
发布时间:2022-07-20 16:37:40  作者:im电子竞技来源:im体育官网全球第一体育平台

  随着 5G 通讯、人工智能等高新技术的发展,对光电晶片超光滑平坦化加工提出了更高的要求。广东工业大学的在《机械工程学报》2021年第19期以封面文章的形式发表了《集群磁流变变间隙动压平坦化加工试验研究》一文,提出并证明了集群磁流变变间隙动压平坦化加工方法可行有效。

  阎秋生,广东工业大学教授、博士生导师、国务院政府特殊津贴专家、广东省劳模,现任粤港机器人产业学院院长,广东省金属薄板节材精密分切工程技术中心主任。主要研究方向为精密超精密加工理论与技术,光电晶片平坦化加工等,承担包括国家自然科学基金重点项目等科研项目数十项。获得2018年广东省教育教学成果二等奖、2020年广东省教育教学成果一等奖,2013年广东省专利金奖和第十五届中国专利优秀奖,2020 年度广东省技术发明奖二等奖,2021年第八届广东省专利金奖和第23届中国专利银奖等,PCT专利申请5件、授权美国专利1件、授权中国发明专利22件,专利许可转让14件,在国内外学术刊物上发表论文150余篇。

  本报告介绍了项目组面向光电晶片超光滑平坦化加工的集群磁流变抛光技术,通过集群磁流变实时在位生成抛光垫面域加工、运用磨粒容没机制、动态磁场保持抛光垫自锐和性能稳定、多场耦合控制磨料状态,实现光电晶片集群磁流变抛光。建立全域动压集群磁流变抛光力模型,材料去除模型和加工表面创成模型,揭示盘面3D微结构和变间隙强化抛光力的作用机理,展望电芬顿化学磁流变抛光加工过程研究。

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